Gravure sèche

La gravure sèche est un ensemble de technique de gravure des semi-conducteurs en exposant le matériau à un bombardement d'ions.

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Micro-électronique - Électronique

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La gravure sèche (dry etching) est un ensemble de technique de gravure des semi-conducteurs en exposant le matériau à un bombardement d'ions (généralement sous forme de plasma). Elles se distinguent des méthodes de gravures chimiques classiques qui utilisent de solutions réactives.

Parmi les gravures sèches, on compte :

la gravure au plasma
la gravure ionique réactive (RIE)

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