Lithographie par faisceau d'électrons focalisé

Aussi nommée lithographie électronique. En anglais : Electron Beam Lithography.


Catégories :

Nanotechnologie - Microlithographie - Fabrication de circuits électroniques - Électronique

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  • lithographie ionique par projection lithographie molle lithographie optique lithographie par faisceau d'électrons lithographie par faisceau d'ions focalisé... (source : oqlf.gouv.qc)
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  • ... Nanofabrication par faisceaux d'électrons : systèmes à blocage de Coulomb.... de délivrer des faisceaux d'électrons focalisés à des dimensions de ... opérations de lithographie électronique à particulièrement haute résolution... (source : phys.ens)

Aussi nommée lithographie électronique. En anglais : Electron Beam Lithography (EBL).

Voir Article détaillé Lithographie à faisceau d'électrons

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