Lithographie par faisceau d'électrons focalisé
Aussi nommée lithographie électronique. En anglais : Electron Beam Lithography.

Catégories :
Nanotechnologie - Microlithographie - Fabrication de circuits électroniques - Électronique
Page(s) en rapport avec ce sujet :
- lithographie ionique par projection lithographie molle lithographie optique lithographie par faisceau d'électrons lithographie par faisceau d'ions focalisé... (source : oqlf.gouv.qc)
- Faisceau d'ions focalisé (FIB) Zeiss 1540XB CrossBeam... Lithographie par faisceau d'électrons à haute résolution. Microscopie électronique en transmission... (source : gel.usherbrooke)
- ... Nanofabrication par faisceaux d'électrons : systèmes à blocage de Coulomb.... de délivrer des faisceaux d'électrons focalisés à des dimensions de ... opérations de lithographie électronique à particulièrement haute résolution... (source : phys.ens)
Aussi nommée lithographie électronique. En anglais : Electron Beam Lithography (EBL).
Voir Article détaillé Lithographie à faisceau d'électrons
lien externe
Recherche sur Amazon (livres) : |
Ce texte est issu de l'encyclopédie Wikipedia. Vous pouvez consulter sa version originale dans cette encyclopédie à l'adresse http://fr.wikipedia.org/wiki/Lithographie_par_faisceau_d%27%C3%A9lectrons_focalis%C3%A9.
Voir la liste des contributeurs.
La version présentée ici à été extraite depuis cette source le 07/04/2010.
Ce texte est disponible sous les termes de la licence de documentation libre GNU (GFDL).
La liste des définitions proposées en tête de page est une sélection parmi les résultats obtenus à l'aide de la commande "define:" de Google.
Cette page fait partie du projet Wikibis.
Voir la liste des contributeurs.
La version présentée ici à été extraite depuis cette source le 07/04/2010.
Ce texte est disponible sous les termes de la licence de documentation libre GNU (GFDL).
La liste des définitions proposées en tête de page est une sélection parmi les résultats obtenus à l'aide de la commande "define:" de Google.
Cette page fait partie du projet Wikibis.